Thermo Scientific ™ Helios ™ 5 Lazer PFIB Büyük hacimli 3D analiz, Ga-ücretsiz örnek hazırlama ve hassas mikroişleme. Yenilikçi, tamamen entegre fiyosaniye lazeri ile, malzeme çıkarma oranı ve kesim yüzeyi kalitesi sağlar ve nano çözünürlükte mm ölçekli aralığında yüksek kaliteli alt yüzey ve üç boyutlu karakterize cihazıdır.
Fifto saniyelik lazer PFIB
Zui Büyük hacmi: 2000 × 2000 × 1000 μm3
Zui büyük ışın akımı: ~ 1mA (iyon ışın akımına eşdeğer)
Kesme Akımı: 74μA
Leke Boyutu: 15μm
Lazer entegrasyonu: 3 ışın (SEM / PFIB / lazer), örnek odasına tamamen entegre edilmiş ve aynı çarpma noktasına sahiptir,
Hassas ve tekrarlanabilir kesim konumları ve üç boyutlu karakterize sağlayın.
Tek Harmonik: dalga uzunluğu 1030 nm (kızılötesi), darbe genişliği <280 fs
İkinci harmonik: dalga uzunluğu 515 nm (yeşil), darbe genişliği <300 fs
Elektronik Optik:
Üç ışın çarpma noktası WD = 4 mm (SEM / FIB ile aynı)
Değişken lens (elektrikli)
Polarizasyon: Yatay / Dikey
Tekrarlama hızı: 1 kHz ~ 1 MHz
☆ ışın konumlandırma hassasiyeti: <250 nm
Koruyucu: Otomatik SEM/PFIB Koruyucu
Yazılım:
☆ Lazer Kontrol Yazılımı
☆ Lazer üç boyutlu sürekli kesim iş akışı
☆ EBSD lazer üç boyutlu sürekli kesim iş akışı
☆ Lazer Programlama Kontrol Senaryosu*
Güvenlik: Birbirine kilitli lazer koruyucu (1. sınıf lazer güvenliği)
Özellikleri ve kullanımı:
☆ mm sınıfı kesit malzemesi Kaldırma, malzeme Kaldırma oranı tipik Ga + FIB'den 15.000 kat daha hızlı
☆ İstatistiksel olarak ilgili yüzey altı ve üç boyutlu veri analizini daha kısa bir sürede daha büyük hacim toplayarak gerçekleştirin
☆ Doğru ve tekrarlanabilir kesim konumu, örneklerde aynı noktaya üç küme
☆ Üç boyutlu analiz için yüzeyin altındaki TEM parçalarını veya blokları çıkararak Derin yüzey altındaki özelliklerin hızlı karakterizasyonunu elde edin
☆ Elektrik iletken olmayan veya iyon ışınlarına duyarlı gibi zorlu malzemeler için yüksek verimli işleme
☆ Görüntüleme ve kesit almak için farklı aletler arasında örnekleri göndermeden hava duyarlı örneklerin hızlı ve kolay bir şekilde karakterize edilmesi
Helios 5 PFIB platformunun tüm özellikleri, yüksek kaliteli galiyumsuz TEM ve APT örnek hazırlığı ve yüksek çözünürlüklü görüntüleme yeteneği dahil olmak üzere çok güvenilirdir.
