Akıllı kütle akım ölçemesi Küçük hacimli akım kontrolörü Termal gaz kütle akım ölçemesi
Kullanım ve Özellikler
Kütle Akışı Kontrolörü (Mass Flow Controller, MFC) bir gazın kütle akışını hassas bir şekilde ölçmek ve kontrol etmek için kullanılır. Yarı iletken ve entegre devre endüstrisinde, özel malzeme disiplinlerinde, kimya endüstrisinde, sanayi, tıp ve vakum lambalarının çeşitli alanlarında bilimsel araştırma ve üretimde önemli bir rol oynuyorlar. Tipik uygulamalar şunları içerir: yayılma, uzatma, CVD、 Oksidasyon, plazma kazma, püskürtme, iyon enjeksiyonu; ve kaplama ekipmanları, fiber erime, mikroreaksiyon cihazları, karışık gaz dağıtım sistemleri, kapilar ölçümleri, gaz kromatometreleri ve diğer analiz aletleri.
Ana Teknik Göstergeler
Ölçüm Aralığı (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
Doğruluk +1.5% F.S.
Doğrusal +0.5 ~ 1.5% FS
Tekrarlama hassasiyeti +0.2% F.S
Yanıt Süresi 10sec Gaz Özellikleri: (1 ~ 4) sec
Çalışma basıncı farkı 0.1 ~ 0.5MPa
Basınç dayanıklılığı 3Mpa 6Mpa 10Mpa
Çalışma ortamı sıcaklığı 0 ~ 70 ℃
Dijital miktar RS485 MODBUS protokolü
Analog DC 0 ~ 5V, 4 ~ 20mA isteğe bağlı
Elektrik Özellikleri: SLM
Güç kaynağı DC + 15V / 24V isteğe bağlı, akım ölçeği <50mA, denetleyici <200mA
Elektrik Bağlantısı DB15
Sızdırma oranı 1×10 SCCSHe
Temel Malzemesi 316L Paslanmaz Çelik
Sızdırmazlık malzemesi Fluor kauçuk, butanin, neopren
Hava yolu bağlantısı Φ3, Φ6, Φ10, 1/8 ", 1/4 ", 3/8 "
Not: Fabrikada kütle akış ölçeri ve kütle akış kontrolörleri genellikle azot (N₂) ile kalibre edilir.
Kütle akışı birimi: SCCM (standart ml / dakika); SLM (Standart litre/dakika)
Akıllı kütle akım ölçemesi Küçük hacimli akım kontrolörü Termal gaz kütle akım ölçemesi