Park Systems Atomik Güç Mikroskopu XE-15

Cihaz tanıtımı:

Park XE-15 kapsamlı örnek uyumluluğuna sahiptir. Çeşitli örnek masası, farklı boyutlarda, şekillerde ve örnek miktarlarında kolay ve güvenilir bir test ortamı sağlamak için tasarlanmıştır. Çıkarılmış kapalı döngülü XY tarayıcı, bükme etkisi hatalarını ortadan kaldırır ve doğrusal sağlar. Gerçek temas olmayan tarama modu, örnek çeşitliliğini genişletirken, sondun ömrünü büyük ölçüde uzatır ve kullanım maliyetlerini azaltır.

Park Systems atomik güç mikroskopu XE-15 teknik parametreleri:

Tarayıcı

XY Tarayıcı

Esnek rehberli kapalı döngü kontrol tek modüllü tarayıcı

Tarama aralığı 100μm * 100μm (isteğe bağlı 50μm * 50μm)

Düz offset: <2nm (40μm * 40μm tarama)

Z tarayıcı

Esnek yönlendirilen güçlü tarayıcı

Tarama aralığı 12μm (isteğe bağlı 25μm)

Rezonans frekansı: > 5kHz

Yüzey Görüntüleme Gürültüsü: 0.03nm

Örnek Masası

Örnek masası türü: 16 noktalı örnek masası / 150mm çapı vakum adsorbsiyon masası (isteğe bağlı 200mm çapı vakum adsorbsiyon masası)

Örnek boyutu: 150mm * 150mm * 20mm

Örnek ağırlığı: zui 500g

Örnek masası hareket aralığı: 150mm * 150mm (isteğe bağlı 200mm * 200mm)

Ana Özellikler:

1. Çalışma verimliliği sağlayan yenilikçi çok noktalı örnek masası tasarımı

• Bir seferde en fazla 16 örnek tarayabilir

● Kolay örnek yerleştirme, hızlı tarama

• Verilerin doğruluğu ve tekrarlanabilirliğini büyük ölçüde artırır

2. Endüstri geliştirme ihtiyaçlarını karşılamak için büyük örnekleri destekleyin

● Zui, kullanıcıların mevcut ve gelecekteki ihtiyaçlarını karşılamak için 200 mm wafer desteği

Yarı iletkenlerle ilgili kullanıcıların gerçek ihtiyaçlarını karşılamak için özel tasarım

3. Zengin fonksiyonel mod seçimi

• Çeşitli SPM fonksiyonları desteklemek

• Çok sayıda seçenekli ölçüm modunu destekler

● Çeşitli isteğe bağlı aksesuarları destekler, genişletilmiş üstün performans